一座月產能四萬片規模的晶圓廠,至少需要1500台真空相關設備。抽空氣的渦輪泵、微塵洗滌器每年更需要一至兩次不等的維修,而且拆真空設備的幫浦、管線回去維修洗滌,必須把備品馬上裝上去,讓製程繼續運轉,尤其像台積電、聯電目前產能驅動到一○○%,更須如此!誰有機會受惠?
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